Изготовления волноводов

Необходимо упомянуть также об ином методе изготовления волноводов. Подложка гравируется механически или тепловым вдавливанием специальных волокон, а затем микрожелобы заполняют материалом волновода.

Для создания рисунка из оптических волноводов современные методы фотолитографии непригодны, так как не обеспечивают нужной регулярности краев (менее 50 нм). Пока наилучшим оказался метод удаления не защищенных фоторезистом участков пленки с помощью распыления (а не химического травления). Для этих же целей применяется ионная бомбардировка.

Теория распространения света в пленочных и волоконных волноводах достаточно сложна и приводит, так же как и в СВЧ-волноводах, к наличию различных типов колебаний (мод), характеризующихся различным поперечным распределением электрического и магнитного поля, различной фазовой скоростью распространения и поляризацией. Часто нужен одномодовый режим, неконтролируемые преобразования мод приводят к не оптимальным модам и к большому многообразию излучаемых из пленки волн.

Введение света в пленки производится с ее торцов, но главным образом с помощью специальных призм и дифракционных решеток (эффективность возбуждения до 75%). Те же методы пригодны и для вывода света из пленки.




Дата 07.10.2014